光刻巨人:ASML崛起之路

[荷] 瑞尼·雷吉梅克
在20世纪70年代初,荷兰飞利浦研发实验室的工程师们制造了一台机器:一台试图像印钞票一样合法赚钱的机器。但他们当时并没有意识到自己创造了一个“怪物”,这台机器在未来的20年里除了吞噬金钱没有做任何事情。 “我们赶紧动手吧,难题得一个一个去解决。” 埃弗特·波拉克(1944—2014) 光刻巨人:ASML崛起之路 本书用编年史的方式记录了ASML的天才工程师们。这本书的时间跨度为20世纪60年代初到20世纪90年代中期,在这段时间里ASML登上了世界的舞台。 致中国读者的信 近几十年来,中国已经成长为全球科技的重要参与者。世界上的各种电子产品大多来自中国。同时,作为最大的电子元器件需求国,中国的芯片制造业也在快速发展。因此,中国正在成为ASML最大的客户之一。 ASML这家带动全世界技术进步的公司,离我出生和长大的地方只有几公里远。我很幸运在自己的记者生涯中能够一直近距离看到ASML公司的发展,并亲自与它的研发人员和工程师们交谈。 这种亲密接触让我非常着迷,它证明了依靠技术和辛勤工作来达到世界一流水平的可能性。今天在中国我也看到了同样的努力,越来越多的顶尖科技公司由此诞生。 因此,本书能够和中国读者见面,我感到非常荣幸和高兴。感谢人民邮电出版社和我的翻译捷幡,使中国读者有机会了解ASML公司的起源,并了解这家公司是如何独立影响了全球芯片技术的进步的。 瑞尼·雷吉梅克(René Raaijmakers) 2019年11月于荷兰 推荐序 集成电路(芯片)是技术发展的产物,也是现代信息社会的基础。当前技术发展的几个热点,如人工智能、无线通信、虚拟现实、物联网以及智能制造,无不是依靠高性能的芯片来实现的,因此,芯片的设计与制造能力是衡量一个国家技术实力的重要指标。光刻机是芯片制造中的核心关键设备,它负责把集成电路版图精确地投影在硅片上。在集成电路制造的诸多工艺单元中,只…