谨以此书献给所有热爱半导体行业的朋友 专家推荐 刚打开这本《集成电路制造工艺与工程应用》时眼前突然一亮，发现该书完全不同于国内已出版的关于集成电路制造工艺的众多教材和著作，具有两大鲜明特点。 （1）该书针对目前集成电路生产中的先进纳米级工艺，从工艺整合角度，详细介绍集成电路的制造流程和实现方法，同时包括最新的纳米级技术（如FinFET），在解释机理的基础上突出介绍实际应用，填补了目前已出版的同类教材和著作的短缺。阅读本书将大大缩短刚毕业的本科生和研究生从介入到胜任芯片设计、版图设计、工艺流程管控等相关工作的过渡期，对已从事集成电路研制的人员也具有很大的实用参考作用。 （2）该书另一个特色是为了帮助对工艺流程的理解，包括有大量的立体图和剖面图。由于采用彩色印刷，不但美观，而且使得对工艺流程的理解从抽象变得直观明了。 在目前我国正大力发展集成电路产业的时代，此书的作用就更加不言而喻了。 ——贾新章 西安电子科技大学微电子学院 教授 温德通先生的《集成电路制造工艺与工程应用》让我大开眼界，也是我这几年看到的半导体先进工艺制造技术教科书里的出类拔萃之作。书中采用了大量示意图来描述工艺制造过程，让读者直观地理解每一步工艺流程。同时，书中也详尽地讲解了最新的FD-SOI工艺技术和FinFET技术和制造过程。我相信这本书将对半导体专业的大学生、研究生、教师，以及工程技术人员学习和了解半导体芯片制造技术起到重要的作用。希望温德通先生能够不断更新这本书，使其成为半导体产业的经典教科书。 ——谢志峰 艾新工商学院 院长/创始人 近十几年，我国集成电路产业发展迅速，集成电路工艺技术层出不穷，产业界急需一部对新工艺现状进行全面阐述的书籍，温德通先生结合十余年工作经验的积累，花大量的时间研究分析半导体最新工艺，写出了一部基本上覆盖所有半导体最新工艺技术，并兼具科普性与专业性的书籍。《集成电路制…