PREFACE前言 MEMS法珀腔光学声传感器是新型的无振膜声传感器，具有高灵敏度、宽频带、大动态范围和高信噪比的声探测性能，其基本原理是通过光束检测，由声波扰动引起的空气折射率变化来实现声探测。相对于基于可移动部件（声敏感薄膜或光纤）的光学声传感器，MEMS法珀腔光学声传感器全刚性的声敏感结构，使其可以消除因机械特性（机械敏感性干扰、固有的有限频率带宽、非线性）引起的传感器失真。采用光胶工艺或直接键合工艺制备MEMS法珀谐振腔，在实现微型化的同时还能满足光学声传感器在超宽频带内实现平坦的频率响应和较高的声探测灵敏度，这为集成化、批量化的超宽频带、高灵敏声传感器件的发展奠定了基础。MEMS法珀腔光学声传感器是近年发展起来的新型声传感器，其性能可满足从军用到民用的多种应用领域的需求，是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。 随着我国信息化水平和工业生产能力的不断提升，MEMS法珀腔光学声传感器也得到了快速发展。著者一直从事MEMS法珀腔光学声传感器等新型声传感的研究，取得了数十项技术创新和发明专利，相关研究成果获得了2022年度山西省技术发明二等奖。著者在理论和技术研究的基础上将这些成果汇集成册，著成本书，旨在为促进MEMS法珀腔光学声传感技术的进一步发展略尽绵薄之力。 本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。全书共7章：第1章为概述；第2章阐述了MEMS法珀腔光学声传感机理；第3章介绍了MEMS法珀腔声传感结构设计方法；第4章和第5章分别阐述了基于光胶工艺和直接键合工艺的法珀腔制备方法；第6章讨论了光纤声传感声信号解调方法；第7章对法珀腔声传感性能进行了测试，并验证了其实际工程应用价值。本书内容新颖，系统性较强，将法珀谐振腔的新型MEMS加工工…